Hochspannungs SMU

Features

• 1 Kanal, Messeinheit (U,I)
• Ausgangsspannungen bis 2,5 kV (<30 mA im Pulsbetrieb)
• Auflösung Strommessung <1 pA
• Einstellbare Slew-Rate von 10 V/ms bis 1000 V/ms
• Standard: 19″, 6 HE

Anwendungen

• Leckstrommessung bei Halbleitern, Baugruppen oder Kabeln
• Messung der Durchbruchspannung bei Halbleitern
• Erzeugung von Testspannungen >100 V

Als Source and Measurement Units (SMU) werden Geräte bezeichnet, die Spannungen oder Ströme erzeugen und über die integrierten Messeinheiten (VMU, CMU) gleichzeitig messen können.
Hochspannungs SMUs arbeiten als geregelte Spannungsquelle und sind in der Lage sehr hohe Ausgangsspannungen zu erzeugen.

Die Hochspannungs SMUs der AXV-Familie können geregelte DC-Spannungen oder Spannungspulse im Bereich von -1.500 bis +2.500 V ausgeben. Der Signalverlauf ist dabei sehr linear und zeichnet sich durch sehr kurze Rise- und Fall-Times aus. Durch die extrem schnelle Regelung wird ein Überschwingen des Ausgangssignals vermieden, was die Testzeiten enorm verkürzt.

Mit den integrierten Messeinheiten für Strom und Spannung können während eines Pulses auch Strom und Spannung am Prüfling gemessen werden.

Durch die hohe Auflösung bei der Strommessung im pA-Bereich, in Verbindung mit den aktiven Guarding-Ausgängen (Vermeidung von Leckströmen in der Verkabelung), ist das Gerät ideal zur Vermessung von Leckströmen geeignet.