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Der AXV7680 Source Measure Unit bietet fünf Strombereiche und kann Ströme bis in den nA-Bereich erzeugen. In Verbindung mit der integrierten Spannungsmesseinheit (VMU) können alle Anforderungen der Hochspannungs-Halbleiterprüfung erfüllt werden. Der integrierte Schutzverstärker kann zur Ansteuerung der Kabelschirmung und zur Reduzierung des Leckstroms in der Prüflingsverkabelung eingesetzt werden. Die integrierte Strommesseinheit (CMU) ist extrem schnell und verfügt über sieben Messbereiche. Dies ermöglicht Strommessungen bis in den pA-Bereich. Mit parallelen Triggersignalen können VMU und CMU synchrone Messungen durchführen.
In der integrierten Relaismatrix werden alle Hochspannungssignale (FORCE, SENSE, GUARD) über Relais mit dem Ausgang verbunden. Zusätzliche Relais und schaltbare Widerstände ermöglichen Selbsttestfunktionen.